日本電子株式会社　開発館
〒190-0012　東京都昭島市武蔵野3－1－2　（042-542-1111）
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最近の走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）技術の発展はめざましく、形状観察はもちろんのこと、各種検出器を駆使した多岐にわたる分析が可能となっています。そこで本講座では、ＳＥＭ経験者を想定し、基礎と応用に関する講習の後、専門家の指導の下で最新の実機を用いた実習に参加してもらい、体験を通じた原理の理解の深耕と、これによる応用力の効くオペレーション技術を習得して頂きます。実習では、各種検出器の使い方から、低加速電圧観察、分析などを対象とし、実践を通じて習得することを目的としています。

実習内容
実習は専門家の指導のもと各班 最大3名に分かれW-SEMおよびFE-SEMを実際に操作して頂きます。
W-SEM（低真空SEM）：低真空高真空（無蒸着・蒸着の差）・元素分析
FE-SEM (高分解能SEM)：低加速電圧・高分解能観察・各検出器における像解釈

※今回は参加者の試料持参もお受けしております。このため、当日に観察されたい試料のある場合は、事前に試料情報に関するアンケートを提出していただきます。アンケートは参加申し込み時、もしくは後日、提出をお願いいたします。