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真空と表面の匠｜日本表面真空学会

公益社団法人 日本表面真空学会



真空と表面の匠

真空と表面の匠

受賞年 受賞者 所属 受賞業績
2024年 関口　敦 工学院大学 CVD成膜装置の開発とCVD技術普及への貢献
2023年 大林哲郎 (株)大阪真空機器製作所 希薄気体力学を用いた真空ポンプの開発
2022年 稲吉さかえ (株)アルバック 各種真空材料の表面処理方法の開発とガス放出特性評価
2021年 該当なし
2020年 佐藤弘悦 佐藤真空(株) 真空機器による先端科学技術への永年にわたる貢献
大岩　烈 シエンタ オミクロン(株) 表面分析機器の普及と啓発に対する永年にわたる貢献
2019年 井口昌司 (株)大阪真空機器製作所 ターボ分子ポンプとねじ溝ポンプを組み合わせた複合分子ポンプの開発と実用化に対する貢献
  • 真空の匠（旧日本真空学会）

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