第3回オンライン真空応用技術講座

主催

日本表面真空学会

開催日

2023年9月5日（火）12時～ 2024年2月15日（木）12時（オンデマンド講義）

締切日

2023年07月18日

会場

オンライン（オンデマンド講義；AirCourse）

プログラム

　2023年度のオンライン真空応用技術講座を2023年9月5日(火)12時～2024年2月15日(木)12時にオンデマンド形式で開催いたします。本真空応用技術講座では、それぞれの分野の基本の理解を深めるとともに、実践のための実力を養うことを目的としております。

オンデマンド講義受講可能期間
　2023年9月5日（火）12時～ 2024年2月15日（木）12時

開催方法
　オンライン（オンデマンド講義；AirCourse）

講義内容
(A)「プロセスプラズマの基礎」　江利口浩二講師（京都大学教授）
　エッチングやデポジションなどプラズマを利用したプロセスには、例えば低温・高密度・高均一・大面積などの特性が要求されている。それら要求に応えその特徴を最大限に有効活用するには、プラズマの基本的性質をはじめ、その生成法、制御法および診断法などの基礎的事項を理解していることが望まれる。本講座では、①プラズマの基本的性質、デバイ長やプラズマ周波数などの基本的な物理量、ならびに電磁界中の荷電粒子の運動、イオンシースの構造、ラジカルの特徴・役割、②プロセスに用いられる各種プラズマ（容量結合、誘導結合、電子サイクロトロン、磁場印加型、表面波など）の生成原理とそれらの特徴（長所と課題）、③プロセス設計で必要となる電子温度に代表されるプロセスパラメータの制御法、また④イオン、電子などプラズマを構成する粒子の密度などの計測法について解説する。

(B)「CVDプロセスの基礎」　関口敦講師（工学院大学特任教授）
　本講座では化学気相成長（CVD）法の基礎に関して解説する。欠陥の少ない結晶成長や良好な被覆特性など、CVD法を使用すると他の成膜方法では実現できない特長を得ることができる。実際にこの特長を得るためには、化学反応過程を解析し所定のプロセス条件で実施することが必要となる。本講座ではCVDの定義から、この反応解析の手法と各プロセスの詳細に関して解説する。

(C)「真空プロセスで取り扱う化学物質の危険性と対策」　関口敦講師（工学院大学特任教授）
　ドライエッチングやCVDのみならず、スパッタなどのPVDにおいても複雑な反応を組み込んだプロセスを使用する機会が増えてきている。本講義では、このような昨今の真空プロセスで使用されている化学物質の危険性を解説すると共に対策を紹介する。真空機器の中で、ある種の真空ポンプは原料や生成物を溜め込む性質がある。このような真空機器を使用するプロセスの安全対策を解説する。

ラーニングシステム
　オンデマンド講座、アンケートは、セキュリティを高めるとともに受講者の負担を軽減するため、ラーニングシステム AirCourse上で運営する予定です。AirCourseでは、Amazon Drive、YouTube、または Google Drive を使用して動画の配信を行っておりますので、Amazon Drive、YouTube、または Google Drive を使用できる環境をご準備ください。どれか1つにアクセス可能であれば受講することが可能です。

アンケート
　受講終了後、ラーニングシステム上でアンケートにご回答ください。アンケートの回答内容は今後のオンライン真空講座等の改善に役立てますのでご協力をお願いします。アンケートの提出をもって受講完了といたします。

メールによる質問受け付け
　受講者はメールで講師に質問することができます。質問は担当講師にお送りください。原則として期間中（2023年9月5日(火)～2024年2月15日(木)）に受講者1名あたり1講義について1回とします。質問に対しては、原則として1週間以内に回答いたします。

禁止事項
　オンライン真空応用技術講座を受講するにあたっては下記の行為を禁止します。ご協力お願いします。
（1）講義動画等を受講者以外が視聴すること
（2）ID、パスワード、視聴用URLを第三者に知らせること
（3）講義動画等をパソコンやその他の記録メディアに保存すること
（4）講義動画等をインターネット上のネットワーク配信サイト等へ配布すること
（5）その他著作権法等の法令に反する行為

会　告
　PDFファイルのダウンロード

参加定員

各100名（先着順にて定員に達し次第締め切ります。）

費用

（1）日本表面真空学会個人正会員　6,000円／講座
（2）日本表面真空学会法人正会員、維持会員、賛助会員に属する個人　6,000円／講座
（3）日本表面真空学会学生会員、日本表面真空学会個人正会員が指導する学生　1,000円／講座
（4）上記（3）に該当しない学生　2,000円／講座
（5）協賛団体会員　7,500円／講座
（6）一般　10,000円／講座
　（資料代・消費税を含む）＊資料は事前に郵送します。

※（A）（B）（C）の講座ごとに上記受講料が必要です。
※上記（2）日本表面真空学会法人正会員、維持会員、賛助会員の企業名はこちらをご確認ください。