産業連携・会員増強委員会2021年2月例会（第306回）

主催

日本表面真空学会

開催日

2021年2月18日（木）14:00 ～ 16:30

締切日

2021年02月09日

会場

オンライン（Zoom）

プログラム

　今回の例会は、炭素系材料を主テーマに選び、基礎的な内容を含め応用から先端材料までの広範囲の話題を2名の講師に講演していただきます。低炭素社会の実現には機械のエネルギー損失を少なくする摩擦の低減が重要課題となっていてDLC膜の更なる改良が期待されています。また、膜作成や固体表面改質や結晶ダイヤモンド合成など、多方面に気相および液中プラズマの利用が展開されています。これらを背景として、プラズマの基礎から応用としてのナノ粒子合成などのご講演もいただきます。
　当例会は、2020年10月に初めてオンラインで開催し約40名の方に参加していただきました。今回は2回目のオンライン開催になります。今回も多数のご参加をお待ちしております。

プログラム
14:00～14:10　開会挨拶
　大岩　烈（日本表面真空学会産業連携・会員増強委員会委員長）

14:10～15:10
１. DLC膜の基礎および低摩擦化手法に関する研究事例
　徳田祐樹（東京都立産業技術研究センター開発本部開発第二部表面・化学技術グループ主任研究員）
[講演要旨]
　ダイヤモンド・ライク・カーボン（Diamond-like carbon; DLC）膜は、炭素および水素を主成分とした非晶質構造の硬質炭素薄膜であり、高硬度や低摩擦係数などの優れた摩擦特性を有することで知られている。本講演では、DLC膜の構造・分類などの基礎的な内容と、異元素ドープや表面テクスチャリングをはじめとした更なる低摩擦化手法の開発事例について紹介する。

15:10～15:20　休憩
15:20～15:25　産業連携・会員増強委員会より事務連絡

15:25～16:25
２. プラズマ技術から見たダイヤモンド製膜および液中プラズマ
　佐藤　進（埼玉工業大学工学部情報システム学科教授）
[講演要旨]
　人工の単結晶ダイヤモンドは、ラボダイヤなどの名称で宝飾用に普及しつつある。一方で半導体用途での研究が継続されている。同様に、普及しつつも研究開発中の次世代材料にナノ粒子がある。これら異なる2つをプラズマ発生による製造という観点でとらえ、プロセス開発の経緯、マイクロ波など電磁波によるプラズマ発生そして応用までを基礎的な解説も含めて説明を試みる。

16:25～16:30　閉会挨拶
　入江則裕（日本表面真空学会産業連携・会員増強委員会副委員長）

禁止事項
本例会参加にあたり、下記の行為を禁止します。ご協力お願いします。
（1）例会への参加申込者以外が例会を視聴すること
（2）例会のミーティングID、パスワード、URLを第三者に知らせること
（3）発表画面、音声等をパソコンやその他の記録メディアに保存すること
（4）発表画面、音声、資料等をインターネット上のネットワーク配信サイト等へ配布すること
（5）他の参加者又は講師に迷惑・不利益を与える行為
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