日本表面真空学会、日本真空工業会

2021年12月3日（金）10:10～12:10（受付9:30～）

東京ビッグサイト　西ホール内 出展者セミナー会場B
（東京都江東区有明3-11-1）　交通アクセス

クライオポンピングと真空技術に関する国際規格の動向について
　日本表面真空学会（JVSS）と日本真空工業会（JVIA）は、「規格標準合同検討委員会」を組織して真空技術に関するJISやISO規格の提案・検討を協力して行なっています。 クライオポンプは排気速度が大きく、クリーンな真空が実現できるため、半導体製造装置や超高真空装置などで広く利用されています。今年は、学習院大学の荒川先生をお招きして、低温表面における気体分子の挙動についてご解説いただきます。また合同検討委員会の取り組みとして、審議中のクライオポンプや高安定電離真空計のISO規格の開発状況など、真空技術に関するISO・JIS制改定状況について報告します。

1.「クライオポンピング～原理は単純なのだが・・・～」
　荒川 一郎 氏（学習院大学 学長/理学部 教授）

2.「クライオポンプのISO規格開発の状況」
　谷津 貴裕 氏（住友重機械工業株式会社）

3.「高安定電離真空計のISO規格開発の状況～欧州プロジェクト（EMPIR）の成果～」
　吉田 　肇 氏（国立研究開発法人産業技術総合研究所）

4.「規格標準合同検討委員会活動報告～最近のISO・JISの制改定等について～」
　吉川 康秀 氏（アズビル株式会社）

100名

無料

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