スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）第18回技術交流会＜発表募集＞

主催

日本表面真空学会

開催日

2022年1月20日（木）14:40～17:20（第169回定例研究会の講演終了後）

締切日

2022年01月11日

会場

オンライン（Zoom）

プログラム

　SP部会では、来る2022年1月20日(木)に開催する第169回定例研究会と併設で、第18回技術交流会を実施する予定です。技術交流会における発表を以下の通り募集します。
　発表は Zoomによるショートプレゼン、その後、質問・情報交換会を予定しています。発表内容については特に制限を設けません。新製品の宣伝的な内容、困り事の相談的な内容でも結構です。研究機関等にご所属の方の研究紹介も歓迎します。
　発表を希望される方は、以下の申し込みページよりお申し込みください。なお、発表者はSP部会員に限りません。部会員以外の方も奮ってご参加ください。

発表の概要　Zoomを用いた8分程度の講演（発表者数により若干変わるかもしれません）
　　　　　　質問・情報交換会

発表申込期限　　2022年1月6日（木）1月11日（火）午前10時に延長しました。

アブストラクト　第169回定例研究会資料（カラー印刷）に併せて掲載します。
　　　　　　　　A4用紙1枚、様式は自由です。
　　　提出方法　PDFファイルにて事務局 office@jvss.jp 宛にご提出ください。
　　　　　　　　※文字化けを避けるためにフォントは「埋め込み」にしてください。
　　　提出期限　2022年1月6日（木）1月11日（火）午前10時に延長しました。

第1～17回技術交流会発表参加者（敬称略）
　大阪大学、金沢工業大学、関東学院大学、京都大学、近畿大学、信州大学、成蹊大学、千葉工業大学、中部大学、電気通信大学、東海大学、東京大学、東京理科大学、東北大学、東洋大学、名古屋大学、兵庫県立大学、法政大学、久留米工業高等専門学校、都城工業高等専門学校、秋田県産業技術総合研究センター、産業技術総合研究所、物質・材料研究機構、 (株)アルバック、アルバック九州(株)、アルバックテクノ(株)、(株)イー・エム・ディー、イーグル工業(株)、AGC(株)（旧称:旭硝子(株)）、AGCセラミックス(株)、(株)大阪真空機器製作所、オリンパス(株)、キヤノン(株)、キヤノンアネルバ(株)、(株)COMET、芝浦メカトロニクス(株)、(株)昭和真空、(株)シンクロン、助川電気工業(株)、(株)スピネット、セントラル硝子(株)、大亜真空(株)、東京電子(株)、(株)日鉱マテリアルズ、日本真空光学(株)、日本ビクター(株)、(株)ブリヂストン、平和電機(株)（旧称:平和電源）、ペガサスソフトウエア(株)、(株)ホンダロック、(株)村田製作所