日本表面真空学会

2023年3月14日（火）13:00～16:30（現地、オンラインともに12:45～入室可能）

機械振興会館 6階6D-4会議室 およびオンライン（Zoom）
〒105-0011　東京都港区芝公園3-5-8

　例年、新たにSP部会幹事にお加わり頂いた方を中心に研究内容を紹介頂く定例研究会は例年12月の技術交流会と併せて実施しておりました。今年度は、12月に開催した第172回定例研究会は国際ワークショップとなり、技術交流会のみの実施になりましたので、新幹事の研究紹介を今回第174回定例研究会にて行います。また、これに併せて今年度もSP部会賞を授賞する運びとなりました。本研究会に先立ち、授賞式及び受賞記念講演を行います。多くの皆様のご参加を心よりお待ち申し上げます。

開催方法
　ハイブリッド（対面＋Zoom）
　※講演資料集冊子を会議に先だって郵送します。当日のアクセスの詳細は、お申込みいただいた方に別途ご案内します。

プログラム
13:00～13:05　開会の挨拶
　日本表面真空学会SP部会 部会長（京都大学）後藤康仁

2022年度SP部会賞授賞式
13:05～13:15
　審査経緯の報告　　日本表面真空学会SP部会 副部会長（東京都立大学）清水徹英
　受 賞 者：中野賢明、平松大典、沼田幸展（株式会社アルバック）
　受賞業績：ストレスコントローラブル高密度TiN膜成膜手法『ULTiNA』

13:15～13:45　SP部会賞受賞記念講演　（株式会社アルバック）沼田幸展

13:45～14:05　休　憩

講　演　※講演時間40分（質疑応答5分間含む）
14:05～14:45
　「相分離を活用したナノ構造膜の作製」
　（岡山大学）村岡祐治

14:45～15:25
　「グラファイト薄膜の金属誘起層交換合成とデバイス応用」
　（産業技術総合研究所）村田博雅

15:25～15:45　休　憩

15:45～16:25
　「株式会社オプトランの要素技術および関連装置のご紹介」
　（株式会社オプトラン）谷口日向

16:25～16:30　閉会の挨拶
　日本表面真空学会SP部会（村田製作所）駒垣幸次郎

禁止事項
　本研究会参加にあたり、下記の行為を禁止します。ご協力お願いします。
（1）定例研究会への参加申込者以外が定例研究会を視聴すること
（2）定例研究会のミーティングID、パスワード、URLを第三者に知らせること
（3）発表画面、音声等をパソコンやその他の記録メディアに保存すること
（4）発表画面、音声、資料等をインターネット上のネットワーク配信サイト等へ配布すること
（5）他の参加者又は講師に迷惑・不利益を与える行為
（6）その他著作権法等の法令に反する行為

80名（現地40名、オンライン40名）

SP部会員：無料
日本表面真空学会個人正会員：23,000円
日本表面真空学会法人正会員、維持会員、賛助会員に属する方：18,000円
教育機関、公的機関に属する方：12,000円
学生： 5,000円
一般：28,000円
（資料代・消費税を含む）

申込みは終了しました。

申込締切： 2023年3月6日（月）

銀行振込（申込受付完了後、請求書を発送します。）

※「参加者の都合による取り消し及び不参加」の場合、参加費の払い戻しはいたしません。
　ただし、参加者の変更は差し支えありません。

問合せ先
公益社団法人日本表面真空学会 事務局
E-mail: office@jvss.jp

本件担当
日本表面真空学会SP部会（村田製作所）駒垣幸次郎、（名古屋大学）稗田純子