日本表面真空学会

2023年9月13日（水）13:30～16:20（現地、オンラインともに13:00～入室可能）

機械振興会館 6階6D-4会議室 およびオンライン（Zoom）
〒105-0011　東京都港区芝公園3-5-8

　IoT技術の発展に伴い、製造プロセスの可視化技術の重要性が増しております。半導体製造や機能性薄膜形成に用いられるプラズマプロセス開発におけるプラズマ物理現象の理解に対して古くから用いられてきたプラズマ診断技術も、プロセス制御やプロセス管理の視点においてその重要性が見直されております。本研究会では、プラズマの分光計測を始めとしたプラズマ診断技術およびその活用事例における技術動向を、大学及び国立研究機関から最前線でご活躍中の講師をお招きして講演して頂きます。多くの皆様のご参加を心よりお待ち申し上げます。

テーマ
　プラズマプロセスの“見える化”に貢献する最新プラズマ診断技術の動向

開催方法
　ハイブリッド（対面＋Zoom）　講師は会場で講演予定です。
　※講演資料集冊子を会議に先だって郵送します。
　　当日のアクセスの詳細は、お申込みいただいた方に別途ご案内します。

プログラム　※講演時間40分（質疑応答5分間含む）
13:30～13:35　開会の挨拶
　日本表面真空学会SP部会 部会長　後藤康仁（京都大学）

13:35～14:15
「低温検出器を用いたエネルギー分散型一分子検出技術とその応用」
　志岐成友（産業技術総合研究所）

14:15～14:55
「飛行時間質量分析計による高出力パルスマグネトロンスパッタリング(HPPMS)の多成分リアルタイム分析法の開発と展望」
　實方真臣（東京工芸大学）

14:55～15:15　休　憩

15:15～15:55
「大気および液中におけるプラズマの分光計測」
　山田大将（国立高専機構 長野高専）

15:55～16:00　閉会の挨拶
　日本表面真空学会SP部会 副部会長　清水徹英（東京都立大学）

禁止事項
　本研究会参加にあたり、下記の行為を禁止します。ご協力お願いします。
（1）定例研究会への参加申込者以外が定例研究会を視聴すること
（2）定例研究会のミーティングID、パスワード、URLを第三者に知らせること
（3）発表画面、音声等をパソコンやその他の記録メディアに保存すること
（4）発表画面、音声、資料等をインターネット上のネットワーク配信サイト等へ配布すること
（5）他の参加者又は講師に迷惑・不利益を与える行為
（6）その他著作権法等の法令に反する行為

70名（現地30名、オンライン40名）

SP部会員：無料
日本表面真空学会個人正会員：23,000円
日本表面真空学会法人正会員、維持会員、賛助会員に属する方：18,000円
教育機関、公的機関に属する方：12,000円
学生： 5,000円
一般：28,000円
（資料代・消費税を含む）

申込みは終了しました。

申込締切　2023年8月30日（水）

銀行振込（申込受付完了後、請求書をメール添付でお送りします。）

※「参加者の都合による取り消し及び不参加」の場合、参加費の払い戻しはいたしません。
　ただし、参加者の変更は差し支えありません。

問合せ先
　公益社団法人日本表面真空学会 事務局
　E-mail: office@jvss.jp

本件担当
　日本表面真空学会SP部会　清水徹英（東京都立大学）、稗田純子（名古屋大学）、並木恵一（株式会社オプトラン）