日本表面真空学会 スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）

エレクトロニクス実装学会 官能検査システム化研究会

2023年12月22日（金）14:00～19:00（受付13:30より）

産総研九州センター　第2棟大会議室・ホール
〒841-0052　佐賀県鳥栖市宿町807-1

※22日は積雪が予想されます。ご参加いただく方は、交通機関の運行状況等をご確認いただき、経路上での運転見合わせ等の心配がある場合は、参加を見合わせることもご検討ください。

　大気圧プラズマによる表面処理は、低コストで室温近傍での低温処理が可能であることから、様々な応用展開を見せています。また近年話題の機械学習を行うにしても、何を計測するのかという観点は極めて重要であり、キラー情報を得るための新規センサの開発が重要です。本研究会では、大気圧プラズマを用いた最先端のプロセス技術ならびに薄膜を応用したセンシング技術について、大学及び国立研究機関でご活躍中の講師をお招きしてご講演頂きます。プラズマ処理、成膜の観点から異分野の研究者の皆様との交流の機会を設ける場として活用していただきたく、技術交流会ポスターセッションも開催します。多くの皆様のご参加を心よりお待ち申し上げます。

講演プログラム
　14:00～14:10　「オープニング」
　　　　　　　　　SP部会部会長　後藤康仁（京都大学）

JVSS SP部会セッション　※講演時間40分（質疑応答5分間含む）
　14:10～14:50　「大気圧プラズマを応用した窒化技術の研究」
　　　　　　　　　市來龍大 先生（大分大学）

　14:50～15:30　「高周波酸素プラズマの医農工応用」
　　　　　　　　　林　信哉 先生（九州大学）

　15:30～15:40　　休　憩

JIEP官能検査システム化研究会セッション　※講演時間30分（質疑応答5分間含む）
　15:40～15:45　「オープニング」
　　　　　　　　　官能検査システム化研究会 主査　本村大成 主任研究員（産総研）

　15:45～16:15　「ドライバーモニタリング応用に向けた耐熱性ZnO圧電シートセンサの開発」
　　　　　　　　　長瀬智美 主任研究員（産総研）

　16:15～16:45　「低温スパッタ法を活用したバイオ計測」
　　　　　　　　　竹村謙信 研究員（産総研）

　16:45～17:25　「産総研九州センター見学ツアー」　3班に分かれて見学、各テーマ10分
　　　　　　　　　(1)窒化物成膜　(2)ダイヤモンド成膜　(3)ミニマルファブ（いずれも調整中）

SP部会技術交流会、官能検査システム化研究会 合同ポスターセッション
　17:25～17:30　「セッションオープニング」
　　　　　　　　　SP部会幹事長　黒岩雅英（東京電子）

　17:30～18:55　「ポスターセッション」
　　「プラズマグラフト重合による紙基材流路への温度応答性バルブ機能の付与」
　　　岩﨑　渉（産総研）
　　「プラズマプロセス装置外付け実装型負荷インピーダンスモニタリング手法の開発」
　　　笠嶋悠司（産総研）
　　「0.2％BeCuチャンバーを使ったTMR磁気センサ成膜用ミニマルMBE装置の開発」
　　　黒岩雅英（東京電子）
　　「スパッタリング成膜においてターゲットから基板に入射する反射アルゴンの見積もり」
　　　後藤康仁（京都大学）
　　「反応性大電力パルススパッタリングによる酸化マグネシウム薄膜の形成」
　　　小宮英敏（東京都立大学）
　　「HiPIMS法によるCr₂O₃薄膜の結晶成長に及ぼす基板バイアス電圧の影響」
　　　高橋侑也（東京都立大学）
　　「パルスレーザー堆積法で作製したTiO₂(001)基板上のVO₂薄膜におけるレーザー出力密度と格子歪の関係」
　　　中本　歴（岡山大学大学院）
　　「低圧力下におけるHiPIMS法による純Al薄膜の形成」
　　　西村風香（東京都立大学）
　　「高密度収束プラズマスパッタリングにおける放電パルス長がGaN薄膜結晶性に及ぼす影響」
　　　御園　樹（久留米工業高等専門学校）
　　「低温スパッタリング装置のご紹介」
　　　宮川兼太郎（アライズテクノロジー）
　　「磁気ミラー型マグネトロンカソードの開発およびその応用」
　　　本村大成（産総研）

　18:55～19:00　「クロージング」
　　　　　　　　　SP部会副部会長　清水徹英（東京都立大学）

50名

参加費
　SP部会会員、官能検査システム化研究会委員、ポスターセッション発表者：無料
　日本表面真空学会
　　　個人正会員：23,000円
　　　法人正会員・維持会員・賛助会員に属する方：18,000円
　エレクトロニクス実装学会
　　　正会員：23,000円
　　　賛助会員に属する方：18,000円
　教育機関、公的機関に属する方：12,000円
　学生：5,000円
　一般：28,000円
（資料代・消費税を含む）

申込みは終了しました。

申込締切
【研究会参加】　2023年12月 8日（金）
【ポスター発表】2023年11月24日（金）12月8日（金）※延長しました。

銀行振込
　申込受付完了後、請求書をメール添付でお送りします。

※参加者の都合による取り消し及び不参加の場合、参加費の払い戻しはいたしません。
　ただし、参加者の変更は差し支えありません。

【振込口座】みずほ銀行　本郷支店（普通）4162244　シヤ）ニホンヒヨウメンシンクウガツカイ

問合せ先
　公益社団法人日本表面真空学会 事務局
　E-mail: office@jvss.jp　　TEL: 03-3812-0266

本件担当
　日本表面真空学会 SP部会　沼田幸展(アルバック)、村岡祐治(岡山大学)、本村大成(産総研)