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[ml_080] 日本表面真空学会 SP部会技術講習会「プロセス用プラズマの生成・計測・応用」(12/7)のご案内

対象：会員および一般

速報発信者；後藤康仁（京都大学，日本表面真空学会SP部会長）

スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）
　　　　　　　平成30年度技術講習会

日本表面真空学会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会では，
毎年，技術講習会を開催しております．平成30年度は，下記のとおり，
プロセス用プラズマの生成・計測・応用について徹底的に解説いたします．
スパッタリングや各種プラズマプロセスに携わる若手・中堅技術者に最適
な講習会です．多数のご参加をお待ち申し上げます．

日　時：2018年12月7日（金）10:00～16:30 （受付 9:30～）

場　所：機械振興会館　地下3階 B3-6号室（東京都港区芝公園3-5-8）
　　　　http://www.jspmi.or.jp/about/access.html

講　師：中村　圭二（中部大学工学部電気システム工学科教授）

題　目：プロセス用プラズマの生成・計測・応用

講習内容：
　1. プラズマ生成
　 1.1 プラズマの構成粒子
　 1.2 プラズマの電位とシース形成
　 1.3 荷電粒子およびラジカルの生成と維持
　 1.4 プラズマの各種生成法
　　（直流放電，静電結合型高周波プラズマ，誘導結合型高周波プラズマ，マイクロ
波プラズマ）
　2. プラズマのプロセスへの応用
　 2.1 プロセスにおけるプラズマの役割
　 2.2 プラズマに曝された表面での現象
　　（堆積，エッチング，スパッタリング，注入）
　 2.3 実際のプロセス例
　3. プラズマ計測
　 3.1 電気的手法～ラングミュアプローブ
　 3.2 波動的手法～表面波プローブ（プラズマ吸収プローブ）
　 3.3 光学的手法～発光分光法，アクチノメトリ法，吸収分光法
　 3.4 粒子的手法～質量分析法，出現質量分析法