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[ml_164] 日本表面真空学会 2019年9月研究例会(9/3)のご案内

対象：会員および一般

速報発信者；後藤康仁（京都大学、日本表面真空学会研究例会企画専門部会）

　　　　日本表面真空学会 2019年9月研究例会
主題「真空機器を腐食や汚染などのダメージから守るための技術」

　半導体産業や成膜技術等においては、腐食や汚染が懸念される環境で、
真空技術を使わざるを得ない場合があります。こうした過酷環境におい
ても、真空機器を健全に動作させると同時に、パーティクルや不純物ガ
スを発生させないことは、高品質な製品を安定に製造し続けるために極
めて重要な技術です。
そこで今回は、先ず、東北大学の原信義先生より、金属腐食が発生す
る基本原理についてご解説頂きます。続いて、真空環境における腐食や
汚染を防止するための技術を培ってこられたメーカ各社より、最新の成
果をご発表頂きます。最後に、大阪教育大学の辻岡先生より、金属蒸着
選択機能を発現させる表面処理技術について、ご講演頂きます。本技術
を応用すると、所望の位置への金属蒸着による堆積を制御することが可
能になるということです。
本研究会が、腐食や汚染が懸念される環境で真空技術を使わざるを得
ない方々と、真空機器を腐食や汚染から守る技術を開発されてきた方々
とを繋ぐ架け橋となることを願っております。講演会終了後、同じ会場
内でフリーディスカッションとしてご講演者と密にコミュニケーション
を取ることのできる場を設けていますので、併せてご参加ください。

日時：2019年9月3日（火）14:00～18:30（受付13:30～）

会場：機械振興会館　地下3階B3-1号室
　　　（東京都港区芝公園3−5−8）
　　　 http://www.jspmi.or.jp/kaigishitsu/access.html

協賛：一般社団法人日本真空工業会

講演プログラム：
14:00～14:05　開会の挨拶
板倉明子（日本表面真空学会研究例会企画専門部会／物質・材料研究機構）

14:05～14:50　原　信義（東北大学）
「金属の腐食の基礎概念」

14:50～15:15　塩川篤志（(株)荏原製作所）
「半導体製造プロセス向けドライ真空ポンプのための防食技術」

15:15～15:40　石榑文昭（(株)アルバック）
「マイクロアーク酸化処理をしたアルミニウム合金のガス放出特性」

15:40～16:05　東　幸緒（中国電化工業(株)）
「真空機器用高耐食性ヤギマイト皮膜（アルマイト）の開発」

16:05～16:20　休憩

16:20～16:45　進藤豊彦（(株)コンタミネーション・コントロール・サービス）
「半導体製造工程のためのコンタミネーション制御」

16:45～17:10　川島優子（(株)大和テクノシステムズ）
「プラズマCVD法で可能になる、微細構造への金属オスミウムコーティング」

17:10～17:55　辻岡　強（大阪教育大学）
「フォトクロミック・ジアリールエテン表面における金属蒸着選択機能」

17:55～18:00　閉会の挨拶
後藤康仁（日本表面真空学会研究例会企画専門部会委員長／京都大学）

18:00～18:30　フリーディスカッション

参加費：（当日受付にてお支払いください）
　　日本表面真空学会会員＊　3,000円（予稿集代を含む）
　　　　＊個人正会員、法人正会員、維持会員、賛助会員
　　協賛学協会会員　　　　　3,000円（予稿集代を含む）
　　非会員　　　　　　　　　5,000円（予稿集代を含む）
　　学　生　　　　　　　　　無料（予稿集代1,000円）

申込方法：ホームページよりお申込みください。
　　　　　https://www.jvss.jp/

問合せ先：公益社団法人日本表面真空学会事務局
　　　　　TEL：03-3812-0266　　FAX：03-3812-2897
　　　　　E-mail：office@jvss.jp