メーリングリスト

[ml_252] 日本表面真空学会第12回関東支部セミナーのご案内

対象：会員および一般

速報発信者；倉橋光紀（物質・材料研究機構）

日本表面真空学会　第12回関東支部セミナーのご案内

半導体微細加工分野で近年注目を集める原子層エッチング(ALE)、
外場を用いた二酸化炭素、メタン等の低温触媒反応における界面
プロセスに焦点を当てた研究会を企画しました。ご関心のある皆様には
是非ご参加を頂ければ幸いです。　

「プラズマが誘起する界面反応と表面科学」

主催：公益社団法人日本表面真空学会関東支部
共催：物質・材料研究機構先端材料解析研究拠点、TIAかけはし
協賛：応用物理学会

■日時： 2020年1月21日(火) 13:00-17:00
■会場: 物質・材料研究機構　千現地区研究本館第2会議室
　　〒305-0047 茨城県つくば市千現１－２－１
　　 https://www.nims.go.jp/nims/office/tsukuba_sengen.html
■アクセス：つくばエクスプレス「つくば駅」下車A3出口より徒歩15分
■参加費：日本表面真空学会会員2000円、一般3000円、学生無料
■申込方法：　前日までに下記webサイトよりご登録をお願い致します。
　　http://www.sssj.org/kanto/files/seminar_12/index.html

■講演プログラム (敬称略)
13:00-13:10 開会挨拶および趣旨説明
13:10-13:45 「活性分子およびイオンビームを用いた原子層エッチング」
                     唐橋一浩（大阪大）
13:45-14:20 「クラスターイオンビーム励起による表面反応と原子層エッチングへの応用」
                     豊田紀章　(兵庫県立大)
14:20-14:55 「振動励起CO2分子が誘起する表面反応」    近藤剛弘(筑波大)
15:15-15:50 「超低電子温度プラズマにおける炭酸ガスの分解反応」
                      佐々木浩一(北海道大)
15:50-16:25 「非平衡プラズマを利用した低温触媒反応：メタン改質への応用」
                     野崎智洋(東工大)
16:25-17:00 「低温プラズマと触媒の相互作用の理解と新規反応プロセスの構築」
                     金賢夏(AIST)

連絡先：
物質・材料研究機構　倉橋光紀
e-mail: kurahashi.mitsunori@nims.go.jp