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[ml_328] SP部会技術講習会(12/7オンライン開催)のご案内

対象：会員および一般

速報発信者；後藤康仁（京都大学、日本表面真空学会SP部会長）

スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）
2020年度技術講習会

日本表面真空学会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会では、毎年、技術講習会を開催しております。
本年度は、下記の通り、プロセス用プラズマの生成・計測・応用について徹底的に解説いたします。スパッタリングや各種プラズマプロセスに携わ
る若手・中堅技術者に最適な講習会です。
なお、今回は、新型コロナウイルス感染拡大防止のため、Web会議形式にて開催します。多数のご参加をお待ち申し上げます。

開催日時：2020年12月7日（月）10:00～16:30（内休憩1時間）

開催方法：Web会議形式（Zoom）

講師：中村圭二（中部大学工学部電気電子システム工学科教授）

題目：プロセス用プラズマの生成・計測・応用

講義内容
１. プラズマ生成
１.１プラズマの構成粒子
１.２プラズマの電位とシース形成
１.３荷電粒子およびラジカルの生成と維持
１.４プラズマの各種生成法（直流放電、静電結合型高周波プラズマ、誘導結合型高周波プラズマ、マイクロ波プラズマ）
２. プラズマのプロセスへの応用
２.１プロセスにおけるプラズマの役割
２.２プラズマに曝された表面での現象（堆積，エッチング、スパッタリング、注入）
２.３実際のプロセス例
３. プラズマ計測
３.１電気的手法～ラングミュアプローブ
３.２波動的手法～表面波プローブ（プラズマ吸収プローブ）
３.３光学的手法～発光分光法、アクチノメトリ法、吸収分光法
３.４粒子的手法～質量分析法、出現質量分析法

受講料：テキスト代・消費税込み
SP部会会員 10,000円
日本表面真空学会会員 30,000円
一般 40,000円
学生 5,000円

定員：30名

申込方法；ホームページよりお申込みください。 https://www.jvss.jp/

申込締切：2020年11月27日（金）15:00

問合せ先：公益社団法人日本表面真空学会事務局
E-mail: office@jvss.jp TEL: 03-3812-0266