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[ml_355] SP部会第166回定例研究会(3/26オンライン開催)のご案内

対象：会員および一般

速報発信者；後藤康仁（京都大学、日本表面真空学会SP部会長）

スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）
第166回定例研究会「エネルギー問題に取り組む成膜技術～低温・高速・高品質成膜を実現するAD法～」

全固体リチウムイオン電池などの次世代エネルギーデバイスを実現するキープロセスとして、エアロゾルデポジション法（AD法）が注目されています。AD法は減圧下で微粒子の表面を活性化させることで高品質な成膜を実現していると考えられており、スパッタ成膜やプラズマプロセスを理解する上でも参考になることが多いと考えられます。本研究会では、AD法の基礎、およびAD法により実現するエネルギーデバイスに関する最新の技術動向を、大学及び国立研究機関から最前線でご活躍中の講師をお招きして講演して頂きます。多くの皆様のご参加を心よりお待ち申し上げます。

日時：2021年3月26日（月）13:00～16:30
開催方法：オンライン（Zoom）

13:00～13:05 開会の挨拶
日本表面真空学会SP部会部会長後藤康仁（京都大学）

【2020年度SP部会賞授賞式】
13:05～13:15 審査経緯の報告
日本表面真空学会SP部会副部会長中野武雄（成蹊大学）
受賞者：三菱マテリアル株式会社三田工場技術開発室
梅本啓太、金子大亮、岡野晋、杉内幸也、大友健志、塩野一郎
受賞業績：フラットパネルディスプレイのTFTR配線に適用可能な耐久性の高い黒色化スパッタ膜およびスパッタリングターゲットの開発

13:15～13:45 SP部会賞受賞記念講演

13:45～14:05 休憩

【講演】※講演時間40分（質疑応答5分間含む）
14:05～14:45
「AD法の基礎とエネルギー関連デバイス応用での展望」
明渡純（産業技術総合研究所）

14:45～15:25
「AD法を活用した酸化物全固体リチウム電池の研究開発」
入山恭寿（名古屋大学）

15:25～15:45 休憩

15:45～16:25
「二次電池用セラミックス材料の薄膜・厚膜化技術へのAD法の適用検討」
稲田亮史（豊橋技術科学大学）

16:25～16:30 閉会の挨拶
日本表面真空学会SP部会清水徹英（東京都立大学）

参加費
SP部会員：無料
日本表面真空学会個人正会員：23,000円
日本表面真空学会法人正会員、維持会員、賛助会員に属する方：18,000円
教育機関、公的機関に属する方：12,000円
学生： 5,000円
一般：28,000円
（資料代・消費税を含む）

参加定員：70名

申込方法：ホームページよりお申込みください。
https://www.jvss.jp/

申込締切：2021年3月18日（木）

問合せ先：公益社団法人日本表面真空学会事務局
E-mail: office＠jvss.jp