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[ml_367] SP部会第167回定例研究会(6/24オンライン開催)のご案内

対象：会員および一般

速報発信者；後藤康仁（京都大学、日本表面真空学会SP部会長）

スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）
第167回定例研究会「機械学習が拓く成膜・プラズマプロセス最前線」

現在、機械学習はあらゆる分野において世界規模で活用されています。マテリアルズインフォマティックス分野では新たな機能性物質の探索や様々なプロセスの最適化等、機械学習を用いた研究が盛んに行われ、研究開発を加速させています。機械学習では複雑に絡み合った膨大なパラメータ間の関連性を明らかにし、実験やシミュレーションだけでは得られない新たな知見を浮かび上がらせることが可能です。本研究会では、研究開発において強力な手法の一つであり、関心と期待が高まっている機械学習について、成膜・プラズマプロセス分野において新たな領域開拓に向けて第一線で活躍されている講師の先生方をお招きし、最新の動向をご講演いただきます。多くの皆様のご参加を心よりお待ち申し上げます。

日時：2021年6月24日（木）13:00～16:50
開催方法：オンライン（Zoom）

プログラム：※講演時間40分（質疑応答5分間含む）
13:00～13:05 開会の挨拶
日本表面真空学会SP部会部会長後藤康仁（京都大学）

13:05～13:45
「データ駆動型材料開発の潮流と薄膜成長プロセスへの応用」
知京豊裕（物質・材料研究機構）

13:45～15:25
「機械学習を活用した分子線エピタキシー薄膜成長のclosed-loop optimization」
大久保勇男（物質・材料研究機構）

14:25～15:05
「全自動・自律的合成システムによる機能性無機薄膜材料創製」
清水亮太（東京工業大学）

15:05～15:25 休憩

15:25～16:05
「データ駆動プラズマ科学と半導体プロセス」
浜口智志（大阪大学）

16:05～16:45
「インテリジェント制御による半導体製造装置のイノベーション」
守屋剛（東京エレクトロン）

16:45～16:50 閉会の挨拶
日本表面真空学会SP部会稗田純子（名古屋大学）

参加費：（資料代・消費税を含む）
SP部会員：無料
日本表面真空学会個人正会員：23,000円
日本表面真空学会法人正会員、維持会員、賛助会員に属する方：18,000円
教育機関、公的機関に属する方：12,000円
学生： 5,000円
一般：28,000円

参加定員：70名
申込方法：ホームページよりお申込みください。https://www.jvss.jp/
申込締切：2021年6月16日（水）

問合せ先：公益社団法人日本表面真空学会事務局
E-mail: office＠jvss.jp