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[ml_404] SP部会第168回定例研究会(9/2オンライン開催)のご案内

対象：会員および一般

速報発信者；後藤康仁（京都大学、日本表面真空学会SP部会長）

スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）
第168回定例研究会「Nano-ISSP2021～スパッタリングの基礎から応用まで」

本年は「第16回スパッタリングおよびプラズマプロセス国際シンポジウム“The 16th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes: ISSP 2021”」の開催年となっていましたが、新型コロナウイルス感染拡大が懸念されることから2022年に開催される国際真空会議（International Vacuum Congress）との合同開催となり、今年度は海外研究機関との交流が叶わない状況となりました。
そこでSP部会では、最近のオンライン会議の利点を活用し、小規模ではありますが本部会の定例研究会として、スパッタリングの基礎から応用に関して、国内外の研究者間の交流ができる機会を設けることにしました。海外の先生方にもご協力をお願いし、できるだけ無理のない時刻の開催となるように設定しました。多くの皆様のご参加を心よりお待ち申し上げます。

日時：2021年9月2日（木）15:00～18:50
開催方法：オンライン（Zoom）

プログラム：※講演時間40分（質疑応答5分間含む）
15:00～15:05 開会の挨拶
ISSP実行委員会委員長田嶌一樹（産総研）

15:05～15:45
“Deposition of various TCO’s and the functional oxide films by dc reactive sputtering; (1) with plasma-emission or impedance feedback systems, (2) hollow cathode gas flow sputtering”, Prof. Yuzo Shigesato (Aoyama Gakuin University, Japan)

15:45～16:25
“High-density arc plasma technology to tailor oxygen-related defects and its critical roles for achieving unconventional metal oxide films”, Prof. Tetsuya Yamamoto (Kochi University of Technology, Japan)

16:25～16:45 休憩

16:45～17:25
“On the deposition rate during reactive sputtering?”, Prof. Diederik Depla (Ghent university, Belgium)

17:25～18:05
“Bipolar HiPIMS for low-energy ion-bombardment during growth of dielectric thin films”, Prof. Ulf Helmersson (Linköping University, Sweden)

18:05～18:45
“On electron heating, deposition rate and ion recycling in the high power impulse magnetron sputtering discharge”, Prof. Jon Tomas Gudmundsson (University of Iceland, Iceland)

18:45～18:50 閉会の挨拶
日本表面真空学会SP部会部会長後藤康仁（京都大学）

参加費：（資料代・消費税を含む）
　SP部会員：無料
　日本表面真空学会個人正会員：3,000円
　日本表面真空学会法人正会員、維持会員、賛助会員に属する方：3,000円
　教育機関、公的機関に属する方：3,000円
　学生：無料（講演資料集冊子の配布はございません。）
　一般：5,000円

参加定員：70名

申込方法：ホームページよりお申込みください。https://www.jvss.jp/
※お申込みいただいた方全員に電子版の講演資料を配布いたします。
　別途、講演資料集冊子のハードコピーをご希望の方には、会議に先だって郵送します。
（冊子の郵送先は国内に限らせていただきます。）

申込締切：2021年8月23日（月）

問合せ先：公益社団法人日本表面真空学会事務局
　　　　　TEL 03-3812-0266　　E-mail: office＠jvss.jp