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[ml_467] スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）第169回定例研究会・第18回技術交流会のご案内
対象：会員および一般
速報発信者；後藤康仁（京都大学、日本表面真空学会SP部会長）
SP部会では、会員相互の技術情報交換の場を提供するために、年一回、定期研究会と技術交流会の同時開催を企画しています。毎回ご好評をいただいており、同時開催は今年で18回目となります。昨年度に引き続き、今年度もオンライン開催となります。
今回の定例研究会では法人会員企業様より2件の講演を実施頂きます。技術交流会ではショートプレゼンテーションを実施した後、質問、懇談の場を設けます。この技術交流会を機会に是非会員相互で有益な技術情報を交換していただき、会員各社のさらなる技術的発展につながればと考えております。部会員以外の方の参加も歓迎いたします。皆様の奮ってのご参加をお待ちしております。
なお、ショートプレゼンテーション発表者の当日（定例研究会と技術交流会）の参加費は無料です。
開催日時：2022年1月20日（木）13:00～17:20
開催方法：オンライン（Zoom）
プログラム：
【定例研究会】※講演時間40分（質疑応答5分間含む）
13:00～13:40
「機能性窒化物薄膜の成膜および評価技術とその応用」
藤原 和崇（三菱マテリアル株式会社）
13:40～14:20
「分光特性調整支援システムOASYSの紹介」
大胡 嘉規（株式会社シンクロン）
【技術交流会】
14:40～16:20 ショートプレゼンテーション（1件8分程度×10件前後を予定）
16:20～17:20 質問・情報交換会
参加費（資料代・消費税を含む）
SP部会員：無料
日本表面真空学会個人正会員：23,000円
日本表面真空学会法人正会員、維持会員、賛助会員に属する方：18,000円
教育機関、公的機関に属する方：12,000円
学生： 5,000円
一般：28,000円
ショートプレゼンテーション発表者：無料
参加定員：70名（先着順にて定員に達し次第締め切ります。）
申込方法：下記Webページよりお申込みください。
https://www.jvss.jp/jpn/activities/40/detail.php?eid=00010
申込締切：2022年1月12日（水）
【お詫び】
昨日配信した第18回技術交流会のご案内の中で
「Remoを用いた質問・情報交換会」は誤りです。
正しくは、RemoではなくZoomです。
訂正してお詫びいたします。
問合せ先：公益社団法人日本表面真空学会 事務局
TEL: 03-3812-0266 E-mail: office＠jvss.jp
日本表面真空学会 事務局
〒113-0033 東京都文京区本郷5-25-16 石川ビル5階 TEL：03-3812-0266 FAX：03-3812-2897 Email：