メーリングリスト

[ml_537]「IVC-22 Short Course」のご案内

対象：会員および一般

※先ほどお送りしたメールの件名に誤りがありましたので訂正して再送します。

正）「IVC-22 Short Course」のご案内
誤）「IVC-22 Short Corse」のご案内

主催：公益社団法人日本表面真空学会，日本学術会議
後援：THE INTERNATIONAL UNION FOR VACUUM SCIENCE, TECHNIQUE AND APPLICATIONS（IUVSTA）

「IVC-22 Short Course」

THE 22ND INTERNATIONAL VACUUM CONGRESS(IVC-22)において
真空工学，プラズマ工学，薄膜，表面科学をテーマとした
ショートコースを全７コース開催します．

各コースとも英語での開催になりますが
各分野において世界的に著名な真空・表面科学分野の研究者が講師を務めます．

各コースともIVC-22へのご参加の有無にかかわらず受講可能です．
また，IVC-22の会場である札幌コンベンションセンターでの対面での受講と
会場からの講義のライブ配信をZoom上で聴講する形式での
オンライン受講が選択できます．

貴職場および関係の方々やお知り合いの方々に
本コースへの参加をご勧誘いただきたく，ご案内させていただきます．
https://www.jvss.jp/jpn/activities/14/detail.php?eid=00022

【開催コースのご案内】
①２日間コース：9月10日（土）9:00-18:00、9月11日（日）9:00-18:00
「Vacuum Gas Dynamics: Theory, Experiments and Applications」
　講師： Felix Sharipov (Federal University of Parana)
　　　　 Irina Graur (Aix-Marseille University)
　　　　 Oleg B. Malyshev (Daresbury Laboratory)
　　　　 Roberto Kersevan (CERN)

　講義概要：
　　真空工学で重要な希薄気体流れを扱うための基礎知識やシミュレーション手法、
　実験方法や実験データ処理に関して学べます。気体力学に関する予備知識を前提とせず、
　基礎的な項目から解説します。

　講義内容詳細： https://ivc22.org/pdf/GasDynamics.pdf

②１日コース：9月11日（日）9:00-16:00
「Scanning Probe Microscopy」
　講師： Franz Giessibl (University of Regensburg)

　講義概要：
　　STMとAFMの基礎から高空間分解能AFMに関わる周波数変調モードと
　qPlusセンサーについて学べます。高空間分解能測定や原子操作などの
　重要な実験についても解説します。

　講義内容詳細： https://ivc22.org/pdf/SPMIVC22.pdf

③１日コース：9月11日（日）10:00-18:00
「Reactive Magnetron Sputter Deposition」
　講師： Diederik Depla (Ghent University)

　講義概要：
　　スパッタリング法を基礎から解説し、さらに反応性マグネトロンスパッタリングの
　基本的なプロセスやプロセス設計に役　立つ知識を解説します。

　講義内容詳細： https://ivc22.org/pdf/ReactiveSputtering.pdf

④１日コース：9月11日（日）14:00-18:00
「Introduction to High Power Impulse Magnetron Sputtering (HiPIMS)」
　講師： Daniel Lundin (Linköping University)

　講義概要：
　　近年、注目が集まっているHiPIMSに関して、基本的なプロセスや膜厚、
　膜物性を制御するためのプロセスパラメータ設計に関して解説します。

　講義内容詳細： https://ivc22.org/pdf/HiPIMS.pdf

⑤半日コース：9月16日（金）10:00-13:00
「Plasma Processing; From Fundamentals to Atomic Layer Processes」
　講師： Satoshi Hamaguchi (Osaka University)

　講義概要：
　　半導体デバイス利用される材料のプラズマ処理に関する基本的な知識を解説します。
　さらに原子層堆積（ALD）や原子層エッチング（ALE）などの原子層プロセスの研究の
　最前線を紹介します。

　講義内容詳細： https://ivc22.org/pdf/Plasma.pdf

⑥半日コース：9月16日（金）14:00-17:00
「Fundamentals of Sputter Deposition; Control of Micro- and Nanostructure」
　講師： Ivan Petrov (University of Illinois)

　講義概要：
　　スパッタリングの成膜条件による薄膜成長過程や薄膜の物性への影響を解説します。
　また、スパッタリングにおける膜質制御の手法についても解説します。

　講義内容詳細： https://ivc22.org/pdf/SputterDepositionshort.pdf

⑦半日コース：9月16日（金）14:00-17:00
「Properties of Small Molecules: Bridging Surface Science and Vacuum Technology」
　講師： Katsuyuki Fukutani (University of Tokyo)

　講義概要：
　　真空技術・表面科学にとって非常に重要な、表面と分子相互作用の基本概念と
　水素、酸素、水などの小分子の表面でのふるまいを解説します。

　講義内容詳細： https://ivc22.org/pdf/SmallMolecules.pdf

【申込方法】
　IVC-22ホームページからお申込みください
　https://ivc22.org/short_course.html

【申込締切日（全コース共通）】
　2022年8月31日（水）

【問合せ先】
　IVC-22運営事務局
　E-mail: ivc2022@c-linkage.co.jp　　TEL: 011-272-2151