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[ml] スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）第176回定例研究会・第20回技術交流会のご案内

対象：会員および一般

速報発信者；後藤康仁（京都大学、日本表面真空学会SP部会長）

スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）
第176回定例研究会・第20回技術交流会および
エレクトロニクス実装学会官能検査システム化研究会 2023年度第2回公開研究会
「大気圧プラズマ応用技術と薄膜応用センシング技術の動向」

　大気圧プラズマによる表面処理は、低コストで室温近傍での低温処理が可能であることから、様々な応用展開を見せています。また近年話題の機械学習を行うにしても、何を計測するのかという観点は極めて重要であり、キラー情報を得るための新規センサの開発が重要です。
本研究会では、大気圧プラズマを用いた最先端のプロセス技術ならびに薄膜を応用したセンシング技術について、大学及び国立研究機関でご活躍中の講師をお招きしてご講演頂きます。
プラズマ処理、成膜の観点から異分野の研究者の皆様との交流の機会を設ける場として活用していただきたく、技術交流会ポスターセッションも開催します。
多くの皆様のご参加を心よりお待ち申し上げます。

開催日時：2023年12月22日（金）14:00～19:00
開催場所：産総研九州センター　第2棟大会議室・ホール
　　　　　〒841-0052　佐賀県鳥栖市宿町807-1

プログラム
14:00～14:10「オープニング」
　SP部会部会長　後藤康仁（京都大学）

JVSS SP部会セッション　※講演時間40分（質疑応答5分間含む）
14:10～14:50「大気圧プラズマを応用した窒化技術の研究」
　市來龍大先生（大分大学）

14:50～15:30「長尺細管内の高速滅菌（仮）」
　林　信哉先生（九州大学）

15:30～15:40　休　憩

JIEP官能検査システム化研究会セッション　※講演時間30分（質疑応答5分間含む）
15:40～15:45「オープニング」
　官能検査システム化研究会主査　本村大成主任研究員（産総研）

15:45～16:15「ドライバーモニタリング応用に向けた耐熱性ZnO圧電シートセンサの開発」
　長瀬智美主任研究員（産総研）

16:15～16:45「低温スパッタ法を活用したバイオ計測」
　竹村謙信研究員（産総研）

16:45～17:25「産総研九州センター見学ツアー」
　3班に分かれて見学、各テーマ10分
　①窒化物成膜　②ダイヤモンド成膜　③ミニマルファブ（いずれも調整中）

SP部会技術交流会、官能検査システム化研究会合同ポスターセッション
17:25～17:30「セッションオープニング」
　SP部会幹事長　黒岩雅英（東京電子）

17:30～18:55「ポスターセッション」
　産総研第2棟ホール

18:55～19:00「クロージング」
　SP部会副部会長　清水徹英（東京都立大学）

参加費（資料代・消費税を含む）
　SP部会員、官能検査システム化研究会委員、ポスターセッション発表者：無料
　日本表面真空学会個人正会員：23,000円
　日本表面真空学会法人正会員、維持会員、賛助会員に属する方：18,000円
　エレクトロニクス実装学会正会員：23,000円
　エレクトロニクス実装学会賛助会員に属する方：18,000円
　教育機関、公的機関に属する方：12,000円
　学生： 5,000円
　一般：28,000円

参加定員：50名（先着順にて定員に達し次第締め切ります。）

申込方法：ホームページよりお申込みください。https://www.jvss.jp/

研究会参加申込締切：　2023年12月 8日（金）
ポスター発表申込締切：2023年11月24日（金）

問合せ先：公益社団法人日本表面真空学会事務局
　　　　　E-mail: office＠jvss.jp