対象:会員および一般
速報発信者;大河内拓雄(兵庫県立大学高度産業科学技術研究所)
兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所
ニュースバルシンポジウム2024
<日本表面真空学会協賛>
日時 2024年3月14日(木)10:00~
場所 アクリエ姫路(姫路市神屋町143-2)
特別記念講演 「放射光X線微細加工とマイクロシステムへの展開」
兵庫県立大学高度産業科学技術研究所 教授 内海 裕一
特別記念講演 「EUVリソグラフィ技術の黎明期、現在と今後の展開、並びに日本半導体再興に向けて」
兵庫県立大学高度産業科学技術研究所 教授 渡邊 健夫
その他一般講演、ポスター発表など
シンポジウムの詳細は
http://www.lasti.u-hyogo.ac.jp
をご覧下さい。
連絡先 兵庫県立大学高度産業科学技術研究所事務局
TEL: 0791-58-0249 FAX: 0791-58-0242
E-mail: cast-clerk@lasti.u-hyogo.ac.jp
<本メールは日本表面真空学会より会員の皆様宛に配信しております。>
日本表面真空学会 事務局
〒113-0033 東京都文京区本郷5-25-16 石川ビル5階 TEL:03-3812-0266 FAX:03-3812-2897 Email: