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第43回熊谷記念真空科学論文賞・日本表面真空学会（真空部門）技術賞・進歩賞・会誌賞受賞決定のお知らせ

2018-10-25

公益社団法人日本表面真空学会
会長　大門　　寛

　本誌６１巻６号にて、第４３回熊谷記念真空科学論文賞、平成３０年度の日本表面真空学会（真空部門）技術賞・進歩賞・会誌賞（第４３回真空技術賞、第２７回真空進歩賞、および第７回真空会誌賞に当たります）の候補の推薦を会員の皆様にお願い致しました。ご推薦頂きました論文について、厳正なる審査を行った結果、下記の方々に本年度の日本表面真空学会（真空部門）論文賞、会誌賞、奨励賞、技術賞を贈呈いたすこととなりました。
　贈呈式は、2018年日本表面真空学会学術講演会の期間中、１１月２０日（火）に行います。
　受賞記念講演は一般講演と併せて１１月１９日（月）～２１日（水）の間に行います。

記

【第43回熊谷記念真空科学論文賞】
　該当なし

【技術賞1】
受　賞　者：狩野諒^{1, 3}，菅洋志¹，新堀俊一郎²，高橋賢²，久保利隆³，安藤淳³，
清水哲夫³，宮脇淳³
　所　　　属：¹千葉工業大学，²株式会社三友製作所，³産総研
　受賞論文：吸引プラズマエッチング法を用いたSiO₂ダイアフラム構造作製技術の開発
　掲載号・頁：「J. Vac. Soc. Jpn.」 Vol.60-4　　148-152　　他