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産業賞
| 年度 | 受賞者 | 受賞業績 |
|---|---|---|
| 第9回 平成30年度 （2018年度） |
株式会社コベルコ科研（維持会員） | 高分解能ラザフォード後方散乱分析技術の高度化と産業応用 |
| 第8回 平成29年度 （2017年度） |
シエンタ オミクロン株式会社（維持会員） | 超高分解能光電子分光器と超高真空走査プローブ顕微鏡 |
| 第7回 平成28年度 （2016年度） |
株式会社日立ハイテクノロジーズ（賛助会員） | 超高分解能電子顕微鏡(HF-3300)とガス雰囲気触媒表面観察 |
| 第6回 平成27年度 （2015年度） |
株式会社サーモ理工（賛助会員） | 赤外線導入加熱装置 |
| 第5回 平成26年度 （2014年度） |
株式会社トヤマ（維持会員） | 放射光軟Ｘ線用分光器 |
| 第4回 平成25年度 （2013年度） |
北野精機株式会社 | 研究開発用真空装置 |
| 第3回 平成24年度 （2012年度） |
株式会社アールデック | RHEED装置 |
| 第2回 平成23年度 （2011年度） |
アルバック・ファイ株式会社 | 表面分析用ガスクラスタースパッタリング銃の開発および商品化 |
| （共同受賞） 株式会社島津製作所 オリンパス株式会社 |
ナノサーチ顕微鏡 SFT-3500／OLS3500 の開発 | |
| 第1回 平成22年度 （2010年度） |
日本電子株式会社 SA事業ユニット | オージェ電子分光装置（JAMP-9500F）の開発と製品化 |
| 株式会社ユニソク | 超高真空極低温走査型プローブ顕微鏡システムの開発と製品化 |
日本表面真空学会 事務局
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