| 年度 | 受賞者 | 所属 | 受賞業績 | 
|---|---|---|---|
| 第27回 (平成30年度) | 山川紘一郎 | 学習院大学 | 超高真空下分光による水クラスターの構造・振動解析 | 
| 第26回 (平成29年度) | 該当なし | ||
| 第25回 (平成28年度) | 本村大成 | 産業技術総合研究所 | コンパクト反応性イオンエッチング炉の開発 | 
| 第24回 (平成27年度) | 笠嶋悠司 | 産業技術総合研究所 | プラズマプロセスにおける異常放電検出システムの開発 | 
| 第23回 (平成26年度) | 武安光太郎 | 東京大学生産技術研究所 | 圧力-吸着状態密度変換式による水排気曲線の解析 | 
| 第22回 (平成25年度) | Susan Meãnez ASPERA | 大阪大学大学院工学研究科 | ルチルチタニア表面上の水の吸着及び解離に関する密度汎関数解析 | 
| 第21回 (平成24年度) | 國貞雄治 | 大阪大学大学院工学研究科 | Ag(111)表面上の水素分子のオルソ・パラ転換におけるファン・デル・ワールス力の影響 | 
| 野口大輔 | 都城工業高等専門学校物質工学科 | Formation of WO3 Reduction Coloring Thin Film Using a Combination Sputtering Method Featuring Radio―Frequency Oxygen Plasma Irradiation | |
| 第20回 (平成23年度) | 吉田 肇 | 産業技術総合研究所 | 隔膜真空計を用いた圧力測定のための熱遷移補正 | 
| 第19回 (平成22年度) | 近藤剛弘 | 筑波大学 | Pt表面における分子反応の研究 | 
| 第18回 (平成21年度) | 該当なし | ||
| 第17回 (平成20年度) | 深澤優子 | 大阪教育大学教育学部 | 高速陽子の散乱を用いたイオン結晶表面の構造解析 | 
| 立花隆行 | 立教大学先端科学計測研究センター | ネオン固体表面上からイオン衝撃脱離するクラスターイオンの観測 | |
| 第16回 (平成19年度) | 小川修一 | 東北大学多元物質科学研究所 | リアルタイム光電子分光観察を用いた表面研究 | 
| 第15回 (平成18年度) | 佐藤陽亮 | 産業技術総合研究所、東京理科大学 | 高濃度オゾンガス局所リアルタイム濃度測定法の開発 | 
| 城 真範 | 産業技術総合研究所 | 鏡面反射成分を考慮したオリフィス透過確率のモンテカルロシミュレーション | |
| 第14回 (平成17年度) | 該当なし | ||
| 第13回 (平成16年度) | 盛谷浩右 | 大阪大学大学院理学研究科化学専攻 | 超高真空対応配向分子線ビームラインの開発 | 
| 第12回 (平成15年度) | Markus Wilde | 東京大学生産技術研究所 | Ti(0001)単結晶表面での水素吸収過程に関する研究 | 
| 第11回 (平成14年度) | 信原邦啓 | 大阪大学大学院工学研究科応用物理学専攻在学 | Pd(111)表面における水素原子の吸収反応 | 
| 第10回 (平成13年度) | 内藤正路 | 九州工業大学工学部 | シリコン表面でのビスマスナノワイヤの発見と物性探索 | 
| 柳生進二郎 | 筑波大学物理工学系 | 熱エネルギー原子線散乱法による吸着脱離過程の測定 | |
| 第9回 (平成12年度) | 黒河内智 | 日本バックスメタル株式会社 | ガスケットの変形挙動観察および内部応力解析に基づくコンフラットシール機構の考察とデーパーシール型ガスケットの開発 | 
| 第8回 (平成11年度) | 稲吉さかえ | 日本真空技術株式会社筑波超材料研究所 | UHV/XHV真空材料の表面処理技術の開発とその実用化 | 
| 第7回 (平成10年度) | 小柳 肇 | 株式会社日立製作所基礎研究所 | 原子間力顕微鏡探針を用いた加圧変調ナノメータ記録 | 
| 第6回 (平成9年度) | 該当なし | ||
| 第5回 (平成8年度) | 岡本昭夫 | 大阪府立産業技術総合研究所 | 低エネルギーイオン・プラズマの利用技術の開発と高品質薄膜形成への応用に関する研究 | 
| 第4回 (平成7年度) | 関根重幸 | 電子技術総合研究所 | 極高真空領域での圧力測定に関する研究 | 
| 第3回 (平成6年度) | 土佐正弘 | 金属材料技術研究所 | 極高真空システムに関連した一連の研究 | 
| 第2回 (平成5年度) | 斉藤一也 | 日本真空技術株式会社 | XHVスループット装置を用いたステンレス鋼チャンバーからのガス放出特性 | 
| 第1回 (平成4年度) | 伴野達也 | 東京大学 | ピエゾバルブを用いた流量計測機能付きガス導入装置の試作 | 
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