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学会賞（旧日本真空学会）
| 年度 | 受賞者 | 所属 | 受賞業績 |
|---|---|---|---|
| 第5回（平成30年度） | 岡本幸雄 | 東洋大学 名誉教授 | プラズマ生成とプラズマプロセスとに関する研究開発並びに その産業利用に関する貢献 |
| 第4回（平成29年度） | 安田幸夫 | 東北大学国際集積エレクトロニクス研究開発センター | シリコン集積回路用薄膜技術に関する研究開発とその応用に関する貢献 |
| 第3回（平成28年度） | 小林正典 | 高エネルギ－加速器研究機構 名誉教授 | 放射光源真空技術の進歩発展，公益活動への貢献 |
| 小野雅敏 | 船井電機(株) | ||
| 第2回（平成27年度） | 中山勝矢 | 広島工業大学 名誉教授 | |
| 金原 粲 | 東京大学 名誉教授 | ||
| 第1回（平成26年度） | 辻 泰 | 東京大学 名誉教授 |
日本表面真空学会 事務局
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